SEMI S2-0200火灾防护规范


SEMI S2-0200 第14节 Fire Proctection

SEMI S2-0200第14节－火灾防护，适用于设备内的火灾危害的保护，提供防火安全设计以及设备控制上*低的安全标准。内容有14.2风险评估（Risk Assessment）、14.3认证报告（Reporting）、14.4火灾风险降低（Fire Risk Reduction）、14.5警告和安全工作训练（Warnings and Safe Work Practices）、14.6火灾侦测及抑制系统的维修和测试（Maintenance and Testing of Fire Detection and Suppression Systems）、14.7环保（Environmental）等几部分。

在风险评估方面强调「一份风险评估的数据应该由合格的第三者执行(或判断)以确认火灾的潜在危害以及合适的控制方法。风险评估应该考虑设备内部正常操作及合理的可以预见的单一点失效。不考虑外部引火源的曝露。」，风险评估者需具有专业专门知识来从事火灾危害风险分析，其资格请看SEMI S7 。

而一份认证的报告应对每种辨识出的残存火灾危害，有以下的三个特性：1.被指出的严重性、2.被指出的可能性，3.风险分类的结果。此份报告可作为采购部门采购设备的规范依据之一。

火灾风险的降低可从几个方面着手：
1.      选用不可燃材料－设备的结构应用不可燃性材料所构成。如果制程化学物质不允许使用不燃性材料，那么设备的材料应该是合适使用并且与使用之化学物质兼容，使火灾的风险减至*轻。
2.      制程化学物质危害的消除－设计上应该考虑非易燃性制程化学物质来替换易燃性化学物质。